垂直方向カーボンナノチューブ成長を含むカーボンナノチューブの大量製造に使用できるカーボンナノチューブ製造装置（カーボンナノチューブ製造システム、カーボンナノチューブ成長システム）、炭素源としてSi、石英、セラミックス、各種金属（ステンレス鋼、Ti、Pt等）等の複数の基板上に安価なアルコール、ガソリン又はバイオ燃料等を用いてカーボンナノチューブを成長させ、システム閉鎖キャビティは必要な真空度を保証するだけでなく、基板を加熱することもできる。

関連製品：
1.ナノ粒子製造システム、
2.ZnOナノベルト製造システム、
3.材料炭化研究システム：agricultural and forestry waste、papers、recyclable plastics、and soon、
4.カーボンナノチューブ生産システムCVD：粉末カーボンナノチューブ、nanofiber、nanocoil、and film-type CNTsなどに使用する、
5.触媒薄膜製造システム：高性能カーボンナノチューブの指標として各種材料上に堆積可能な触媒薄膜、

技術パラメータ：
カーボンナノチューブ成長、製造装置（垂直方向カーボンナノチューブ成長を含む）、
Au、Ag、Cu、Al、Si、Ti、Mg、Znなどのナノ粒子の製造；
ZnOナノベルトの製造；
処理温度範囲：400 ~ 800℃
リアルタイムカーボンナノチューブ成長中の温度監視
反応源：炭素含有ガス又は液体アルコール

主な特徴：
*製造速度が速い、
*基板加熱を支持する、
*一定の真空度を保証する、
*成熟したプロセスと豊富な経験、
*操作が簡単、

技術紹介：
*エタノール噴射ユニットを装備する、可燃性炭化水素化物ガスは必要ありません。
*カーボンナノチューブの成長には数分かかり、全体の操作過程は30分を超えない。
*設計の小型化、操作の簡便化、低コスト、高品質カーボンナノチューブ。
*カーボンナノチューブの合成過程において、使用されるエタノール炭素源自体が還元性が強いため、還元性ガス（水素ガス）を用いて触媒を還元する必要はない。エタノールの金属還元性により、カーボンナノチューブは、例えば、NiCu, SUSなど。予め触媒薄膜を堆積する必要はない、Ni, Fe, or Co等触媒性元素は合金中に触媒粒子として独立に存在する。
*透明なガラスチャンバにより、研究者は堆積プロセス全体を直接観察することができる。このシステムは大学研究所のカーボンナノチューブ合成実験の研究を満たしている。